概要
c61型气体质量流量控制器和c61m型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。
本型号产品的满量程可以在30slm到250slm的范围内任意定制，性能优秀，价格适中。
特点                          
±2％f.s.的准确度
±0.2％f.s.的高重复精度
稳定性和可靠性高
满量程可以在30slm到250slm的范围内任意定制
可应用于大多数腐蚀性气体
应用                         晶体制备设备
混气配气设备
燃烧测试设备
主管道气体的控制与计量
标定标准                     标定气体：氮气(n2)
标定温度和压力：  温度—273.15 k（0℃）
气压—101325 pa（760mm hg）
主要技术参数
基本型号
c61
c61m
流量规格 eq \o\ac(○,1)1(n2标定)
0～30,50,100,150,200,250 slm
0～30,50,100,150,200,250 slm
调节阀类型
常闭式
无
量程比
(2～100)％f.s. 或50:1
流量分辨率
0.1％f.s.
准确度
±2％f.s.
线性
±2％f.s.
重复精度
±0.2％f.s.
响应时间
≤5sec
≤3sec
工作压差范围
0.1～0.3mpa (≤100slm)
0.02mpa～2mpa (≤100slm)
0.15～0.3mpa (＞100slm)
0.05mpa～2mpa (＞100slm)
最大耐压
2mpa
工作环境温度
5～45℃
电缆接头
db15pin(针形)
输入输出信号
4～20ma或1～5v
供电电源要求
24vdc(400ma)
24vdc(100ma)
对外单点泄漏率
≤1×10-9pa·m3/s(he)
介质接触材质
316，316l，密封填料
密封材料
丁腈橡胶nbr，三元乙丙橡胶epdm，氯丁橡胶cr，硅橡胶vmq,氟橡胶fkm
管道接头尺寸
双卡套型接头：3/8”、 1/2” 或φ8、φ10、φ12 mm
外形尺寸
长×宽×高：182×40×125 mm
长×宽×高：157×40×125 mm
净重量
2.26kg
1.16kg
注 eq \o\ac(○,1)1：满量程流量不限于表中列出的流量规格，可以在30slm～250slm范围内任选，例如123slm。

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